微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。主要由傳感器、執(zhí)行器和微能源三大部分組成。MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學等各種傳感器。
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